爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计，适用于多尘应用。
清洁/干燥
我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，该方法非常有效。
有关真空泵的工作原理、真空泵价格和真空泵维修等知识就为大家介绍到这里了，如果您还想了解更多有关真空泵的知识的话，就请继续关注我们。
iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。
真空泵维修解决方法如下：
(1)提供电机正确的电压
(2)将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较 高：可将设定值根据正常电机电流提高5%
不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修
平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态，维修一定要及时、迅速，这样真空泵的正常运行才能得到保证。
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
以上信息由专业从事GV80真空泵维修的东欧真空于2024/4/18 9:35:12发布
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