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中山大阪磁悬浮分子泵TGkine3300M服务至上 潽拓光电

来源:潽拓光电 更新时间:2024-05-07 11:08:35

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特点:

      Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。

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     特性:

1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案

2、极快的抽速和高气体通量

3、耐用型的设计和运行的冷却系统,可实现连续运行

4、能够保护轴承的气体吹扫

5、机架式 Navigator 控制器的样品架类型

6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件

7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口(为标准Agilent Profibus 接口选项)

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分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。

以上信息由专业从事大阪磁悬浮分子泵TGkine3300M的潽拓光电于2024/5/7 11:08:35发布

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广州潽拓光电科技有限公司
主营:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统

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